MEMS是微機械(微米/納米級)與IC集成的微系統,即具有智能的微系統,MEMS基于硅微加工技術但不僅限于它.簡單來說,MEMS就是對系統級芯片的進一步集成.我們幾乎可以在單個芯片上集成任何東西,像運動裝置、光學系統、發音系統、化學分析、無線系統及計算系統等,因此MEMS技術是一門多學科交叉的技術.MEMS器件價格低廉、性能優異、適用于多種應用,將成為影響未來生活的重要技術之一.

微電子機械系統(MEMS)技術是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology）基礎上的21世紀前沿技術,是指對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術.它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元的微型系統.